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PT-5SD
腔體材質: 不鏽鋼表麵處理
供電電源: AC220V
工作電流: 整機工作電流不大於1.2A(不含真空泵)
射頻電源功率: 0-300W可調
射頻頻率: 40KHZ(偏移量小於0.2KHz)
頻率偏移量: 小於0.2KHz
特性阻抗: 50歐姆,自動匹配
真空度: 1pa-30Pa 帶真空計顯示真空度
氣體路數: 單路 / 雙路電子流量計氣體輸入
氣體流量: 10—300ml/min(可調)
過程控製: PLC人機界麵自動與手動方式
清洗時間: 1-99999秒鍾可調
功率大小 10%-100%可調
內腔尺寸 Φ150×270Lmm     5L
外形尺寸: 560×540×410mm
真空泵: 飛越VRD-16(抽速4L/S) 
真空室溫度: 小於30°C

冷卻方式: 強製風冷













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